静電駆動型MEMS光スキャナの振動特性の温度依存性と走査角制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24pm2-C-8

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Temperature dependence of the scanning performance of the electrostatic microscaner, and scanning angle control

著者名: 石河 範明(富士電機),工藤 歩(九州大学),澤田 廉士(九州大学)

キーワード: 静電駆動型MEMS光スキャナ,固有振動数,温度依存性,走査角制御方法

要約(日本語): 静電駆動型ＭＥＭＳ光スキャナの振動特性は温度によって変動するが、温度によって振動特性が変動する要因は詳細に検討されていない。本稿では、静電駆動型1軸MEMS光スキャナの固有振動数の温度依存性を理論と実験の両側面より検討し、固有振動数が温度によって変動する要因を検討した。さらに、静電駆動型1軸MEMS光スキャナの反射面の角度を電気的に測定し、駆動信号を制御することでレーザーの走査角が一定となるように制御した。

要約(英語): In this study, the temperature dependence of the natural frequency is investigated both theoretically and experimentally. Furthermore, we report a control method for the optical scanning angle via detection of the electrostatic capacitance, which varies with the oscillation angle of the mirror, to control the driving voltage.

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