Au/Siナノピラーアレイを用いた近赤外光シリコン型フォトディテクタ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24pm2-D-3

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Near-infrared Si photodetector with Au/Si nano-pillar array

著者名: 菅 哲朗(電気通信大学),安食 嘉晴(マイクロマシンセンター),松本 潔(東洋大学),下山 勲(東京大学)

PDFファイルサイズ: 1,270 Kバイト