光・力・温度複合MEMSセンサによる冷温感を含む質感の評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24pm3-B-8

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Texture Characterization Including Warm/Cool Sensation by Light, Force and Temperature Sensitive MEMS Sensor

著者名: 佐藤 文哉(新潟大学),高橋 賢太(新潟大学),安部 隆(新潟大学),奥山 雅則(大阪大学),野間 春生(大阪大学),寒川 雅之(新潟大学)

キーワード: 質感計測,冷温感,触覚センサ,マルチモーダル計測

要約(日本語): マイクロカンチレバー上のひずみゲージ薄膜とSi層のインピーダンスの接触力および光、温度に対する変化を利用したMEMSセンサにより、マルチモーダルな質感の計測を試みた。センサ表面に物体を接触させた時、物体の熱特性に依存した出力変化を計測すると同時に、物体の表面反射率や物体との接触時の力に依存する変化も得ることができた。得られたセンサ出力は触覚、光、冷温感に関する特徴を含んでおり、より感性的な計測が可能となると期待される。

要約(英語): The proposed MEMS multi-modal sensor can detects force as resistance change of the strain gauge on the micro-cantilever and light as impedance change of the Si layer by the photoconductive effect. In this work, it is demonstrated that surface texture including mechanical, optical, and thermal characteristics of various materials can be evaluated by active sensing using the proposed sensor.

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