Fracture Fabrication: 破壊を制御しデバイスを創製する

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24pm3-E-1

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Fracture Fabrication: Fracture Control for Creating Devices

著者名: 土屋 智由(京都大学)

キーワード: 破壊,単結晶シリコン,引張試験,ナノギャップ,熱電子伝導

要約(日本語): 破壊(Fracture)と製造(Fabrication)は対立する概念であるが両者を理解し制御することで高性能かつ高信頼なMEMSデバイスを実現することができる。また，破壊で創成される構造を利用した新奇デバイスの創出につながることを紹介する。

要約(英語): “Fracture” and “Fabrication” are the words that have contradicting meanings to each other. However, for creating innovative and performance devices, correct and deep understandings of fracture and fabrication are indispensable. In this paper, not only the fracture properties of micro electro mechanical devices for improving fabrication, but also fabrication of devices using controlled fracture are introduced.

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