圧電MEMSデバイスの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24pm3-E-3

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Development of Piezoelectric MEMS devices

著者名: 小林 健(産業技術総合研究所)

キーワード: 圧電,MEMS,PZT

要約(日本語): 我々はこれまでに高 配向性PZT 薄膜形成技術、圧電MEMS プロセス技術を確 立してきた。本報告では、圧電MEMS デバイスの自己発電 能力を活用した、無線センサ端末トリガーセンサ、圧力セン サ、エネルギーハーベスタなど、IoT の要素デバイス用途の 開発例を中心に紹介する。

要約(英語): We have established Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films deposition and piezoelectric MEMS microfabrication technologies. The present paper introduces the developed piezoelectric MEMS devices including trigger sensors for wireless sensor, pressure sensors, and energy harvesters.

PDFファイルサイズ: 2,089 Kバイト