新奇金属系マイクロマシン・センサ材料とその微細加工

カテゴリ: 部門大会

論文No: 24pm3-E-4

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Novel metal-based materials and those microfabrication for micromachine and sensor

著者名: 秦 誠一(名古屋大学),溝尻 瑞枝(名古屋大学),櫻井 淳平(名古屋大学)

PDFファイルサイズ: 938 Kバイト