機能性メタルの熱反応性イオンエッチングに対応した自己加熱式ステージの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25am2-PS-015

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Development of self-heated cathode sittable for thermal reactive ion etching of the functional metals

著者名: 村田 祐貴(新潟大学),韓 剛(新潟大学),大川 太基(新潟大学),今井 純一(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

キーワード: 機能性メタル,難加工材,フッ素系ガス,深掘り反応性イオンエッチング

要約(日本語): 本論文では，自己加熱式ステージを用いた熱反応性イオンエッチング法による機能性メタル(Ti，Ta，Mo， NbおよびTi alloy)の加工について報告する。本法は，自己加熱式ステージを既存のRIE装置のカソード上におくことによってウェハの温度を所定温度に上昇させ，加工速度を向上させる方法である。本論文では，各種機能性メタルに対応させた自己加熱式ステージをシミュレーションに基づいて設計し，実際にその性能を評価した。

要約(英語): In this study, the thermal reactive ion etching (TRIE) technique for functional metals (Ti, Mo, Ta, Nb, and Ti alloy) is presented. TRIE employs a self-heated stage as the etching stage of a regular RIE apparatus. It did improve the etching rate of these materials greatly.

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