焦電効果を用いた高温環境用静電アクチュエータの特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25am2-PS-023

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Evaluation of an electrostatic actuator for high temperature environment using a pyroelectric effect

著者名: 尾崎 隼人(岡山大学),神田 岳文(岡山大学)

キーワード: 焦電効果,静電アクチュエータ,高温環境

要約(日本語): 焦電効果では単位時間あたりの温度変化に比例して焦電体表面に電荷が発生し，高温環境においては，室温と比較して温度変化により発生する電荷量が増加する．本研究では，キュリー温度付近で焦電定数が極大となるPZTを用いた静電アクチュエータを製作した．雰囲気温度を制御することにより試作した静電アクチュエータの駆動実験を行い，250℃から50℃の温度変化を与えた際に変位として1.77?m，発生力として365mNの出力が得られた．

要約(英語): In this study, an electrostatic actuator for high temperature condition using a pyroelectric effect of a lead zirconate titanate (PZT) has been fabricated. The basic performance of fabricated actuator has been evaluated. When the temperature change was 50K at 250℃, the displacement which was generated by the pyroelectric effect was 1.77?m, and the electrostatic force which was generated by the pyroelectric effect was 365mN.

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