A Design of CMOS-MEMS Micro-mirror Arrays by 0.35-um 2-Poly-3-Metal Process

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25am2-PS-027

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): A Design of CMOS-MEMS Micro-mirror Arrays by 0.35-um 2-Poly-3-Metal Process

著者名: CHENG ZHENGXI(the University of Tokyo),Toshiyoshi Hiroshi(the University of Tokyo)

キーワード: 静電駆動型,マイクロミラー構造,駆動電圧

要約(日本語): 設計ルール0.35μｍのＣＭＯＳ技術を想定して、ポリシリコン２層、メタル３層を用いた表面マイクロマシニング技術による静電駆動型マイクロミラー構造を設計・製作したので報告する。ミラー寸法18μｍ×18μｍの４×４アレイ構造で、駆動電圧１７．６Ｖ、共振周波数３１１ｋＨｚが設計可能である。

要約(英語): We present a design of bi-stable micro mirror array based on the 0.35-?m CMOS-MEMS technology. Typical pull-in voltage of 17.6 V and resonance of 311 kHz are designed for a 4 x 4 pixel array.

PDFファイルサイズ: 430 Kバイト