ブリッジ構造の共振子と磁歪膜をもつMEMS磁気センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25am2-PS-041

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): MEMS Magnetic Sensor with Bridge-type Resonator and Magneto-strictive Thin film

著者名: 岡田 尚樹(山形大学),笹渕 貴史(山形大学),小池 邦博(山形大学),峯田 貴(山形大学)

キーワード: 共振型センサ,FePd合金,磁歪膜,マイクロブリッジ

要約(日本語): 本研究では、より高感度の磁気センサを目指し、磁歪による構造ひずみによって大きく共振を変えうるブリッジ構造を持つ磁気センサの設計及び作製し、磁気センサの共振特性を評価した。磁気センサには磁歪材料であるFe60Pd40と励振と検出のためにPZT圧電膜を搭載した。作製した磁気センサは共振周波数26.39 kHz、Q値229であった。低磁束域では1Gaussあたり0.5 Hzの分解能であると考えられる。

要約(英語): This paper reports on fabrication and characterization of resonant-type mechanical MEMS magnetic sensors using magnetostrictive FePd sputtered film. The bridge-type sensor has a thin Si bridge resonator stacked with a PZT piezoelectric element for excitation. A resonant peak with a Q factor of 229 at 26.39 kHz was obtained. The sensing resolution of magnetic flux by the resonant frequency was 0.5 Hz per 1 Gauss in low magnetic flux region.

PDFファイルサイズ: 760 Kバイト