半導体ひずみセンサを用いた耐腐食型圧力センサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25am2-PS-047

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Development of corrosion-resistant pressure sensor with semiconductor strain sensor

著者名: 鈴木 健悟(日立製作所),梅山 貴博(日立金属ファインテック),風間 敦(日立製作所),太田 裕之(日立製作所)

PDFファイルサイズ: 674 Kバイト