SOI-MEMS技術による熱式マイクロ・フローセンサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25am2-PS-049

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Micro Thermal Flow Sensors Fabricated using SOI-MEMS Technology

著者名: 星野 敬亮(千葉工業大学),室 英夫(千葉工業大学)

キーワード: マイクロ・フローセンサ,熱式

要約(日本語): 単一のシリコンチップに各種センサの取り込みを目指して、SOI-MEMS技術による熱式マイクロ・フローセンサを提案する。本稿では、単純な線形モデルを用いた感度計算の結果、温度分布のFEMシミュレーション、プロトタイプの設計および測定結果を示す。

要約(英語): Micro thermal flow sensors fabricated using SOI-MEMS technology have been proposed, aiming at incorporation of various sensors into a single silicon chip. This paper presents the results of the sensitivity calculation using a simple linear model, FEM simulation of the temperature distribution, the design and measurement results of the prototypes.

PDFファイルサイズ: 884 Kバイト