カンチレバー型ひずみセンサを用いた圧縮空気の出力測定

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25am2-PS-051

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Output measurement of compressed air using cantilever based strain sensor

著者名: 岩松 新之輔(山形県工業技術センター),多田 伸吾(山形県工業技術センター),今野 俊介(山形県工業技術センター),阿部 泰(山形県工業技術センター),矢作 徹(山形県工業技術センター),加藤 睦人(山形県工業技術センター)

キーワード: 圧縮空気,カンチレバー,ひずみセンサ,出力測定

要約(日本語): 圧縮空気を用いた洗浄・乾燥工程において、被加工物に印加される圧力を管理することを目的として、カンチレバー型ひずみセンサを用いて、ブロアやエアガンから吐出する圧縮空気の出力を直接測定する手法を検討した。圧縮空気の出力変動の要因となるレギュレータ圧力、センサ-ノズル間距離、受風部位をパラメータとして、センサの特性評価を実施した。

要約(英語): We have developed cantilever-based strain sensors which can be used in the output measurement of compressed air. Deflection of the cantilever beam due to compressed air blowing is detected by strain sensor located at the fixed end of the cantilever. We evaluated the output characteristics, blowing high-pressure N2 to the cantilever sensor.

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