肺機能計測用カテーテル型流量センサの高速応答化に関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25am2-PS-057

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Development of thermal catheter flow sensor with high-speed response for medical applications

著者名: 渡辺 瞬(広島市立大学),長谷川 義大(広島市立大学),松島 充代子(名古屋大学),川部 勤(名古屋大学),式田 光宏(広島市立大学)

キーワード: MEMS,COPD,流量センサ

要約(日本語): 近年，慢性閉塞性肺疾患は社会問題となっている．本研究室では，末梢気道での呼吸量を直接・定量的に計測評価することを目的とした超小型カテーテル型流量センサを開発してきた．本流量センサでは，流速・方向ともに時々刻々変化する呼吸を計測対象としているため，流れの変化に対して十分な追従性を有する必要がある．そこで本研究では、センサ基板を薄くすることで熱容量を低減させ従来のセンサより時間分解能を向上させた．

要約(英語): The catheter flow sensor was developed by using MEMS technologies. A thinner polyimide film with the thickness of 5.0 μm was newly introduced as the sensor substrate to shorten the response time in thermal type of catheter flow sensor. The response time was successfully shortened by applying thinner polyimide film substrate.

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