マイクロピラーアレイを用いた高感度MEMS気流せん断応力センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25am2-PS-059

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): High sensitive MEMS airflow shear stress sensor using a micro-pillar array

著者名: 高橋 英俊(東京大学),風間 涼平(東京大学),グェン タンヴィン(東京大学),高畑 智之(東京大学),松本 潔(東洋大学),下山 勲(東京大学)

キーワード: 気流せん断応力,ピエゾ抵抗型センサ,マイクロピラーアレイ

要約(日本語): 本研究では，せん断力を直接的に検出するカンチレバー型気流せん断応力センサに対して，マイクロピラーアレイ構造を利用することで，感度を向上させることを目的とする．本研究で提案するセンサは気流のせん断応力をカンチレバーの表面積に働くせん断力として，ピエゾ抵抗の抵抗変化から直接的に計測可能であり，ピラーアレイによって、カンチレバー表面に発生する流速方向の抗力が増大されるため，センサの高感度化が実現できる．

要約(英語): This paper reports an airflow shear stress sensor whose sensitivity is enhanced by modifying the surface roughness. The sensor consists of a cantilever-typed shear stress sensor and a micro pillar array on the surface of the cantilever. The experimental results show that the micro pillar structure improves the sensor sensitivity in response to ai

PDFファイルサイズ: 1,828 Kバイト