酸化銅を感応膜とする半導体式CO2ガスセンサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25am2-PS-077

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): The Semiconductor CO2 Gas Sensor with the Membrane Containing Copper Oxide

著者名: 阿部 泰(山形県工業技術センター),村上穣(山形県工業技術センター),矢作 徹(山形県工業技術センター),岩松 新之輔(山形県工業技術センター),加藤 睦人(山形県工業技術センター),小林 誠也(山形県工業技術センター)

キーワード: 二酸化炭素,ガスセンサ,酸化銅,反応性スパッタ,湿度補正

要約(日本語): 環境モニタリングを志向した低コストの二酸化炭素ガスセンサを実現するために、CuO系材料をスパッタリング成膜法により薄膜化してガス感応膜とするプロセスを開発することと、湿度補正を実現することに取り組んだ。あわせて、センサノードの形態に実装して無線による室内環境モニタリングに適用した。

要約(英語): This article provides a method to fabricate CO2 gas sensor at lower price. We developed the gas sensing membrane containing copper oxide, and integrated into a sensor node with a humidity sensor to compensate humidity crosstalk.

PDFファイルサイズ: 1,441 Kバイト