対面型触媒を用いた電界印加型薄膜酢酸エチルセンサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25am2-PS-081

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Thin-film ethyl acetate sensors using face-to-face type catalyst with application of electric field

著者名: 中島 崚(東京電機大学),山口富治(東京電機大学),原 和裕(東京電機大学)

キーワード: 酢酸エチル,In2O3,電界印加,多層薄膜,においセンサ

要約(日本語): 有機溶剤である酢酸エチルは特定悪臭物質の一つに指定されており、検知可能なセンサが求められている。このような悪臭物質を検知するセンサとして、安価で堅牢、大量生産が可能な半導体薄膜センサが挙げられる。本研究では、センサ感度や選択性向上を目的として、薄膜センサ表面に垂直に電界の発生が可能な対面触媒型センサの開発を行った。開発したセンサで、用いた触媒の効果や電界によるセンサ感度の改善が確認できた。

要約(英語): Ethyl acetate sensors are demanded because it is designated as one of the specified odor substances. In this research, we have developed a novel ethyl acetate sensor using face-to-face type catalyst with a configuration which enables to generate electric field perpendicular to the surface of the multilayered thin film. This sensor reveals to show the effectiveness of the face-to-face type catalyst and improved sensitivity by applied electric field.

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