有機系粒子状物質を検出するマイクロセンサの研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25am2-PS-083

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Study on micro-sensors for detecting organic particulate matter

著者名: 神保 直道(東京電機大学),原 和裕(東京電機大学),山口 富治(東京電機大学)

キーワード: MEMS,有機系粒子状物質,PM2.5,金属酸化物,多層薄膜

要約(日本語): 本研究では、ポータブルデバイスやウェアラブル検出器、複合センサとしての応用を目的とし、MEMS型センサの開発を行った。センサはPM2.5の検出を目標とし、センサ膜を金属酸化物の多層薄膜を用いて作製した。センサ膜の温度は約210℃に保ち、電気抵抗値の変化を測定した。 被測定物として、ディーゼル発電機から発生する粒子（DPM）、ハウスダストを用いて測定を行い、その結果、それらに対する応答を得ることができた。

要約(英語): We have developed a MEMS-based sensor for detecting PM2.5. The sensing film is made of multi layered metal oxide and is heated at 210℃. The change of its electrical resistance is measured. The sensor shows high response to the particles generated from the diesel generator (DPM) and House Dust.

PDFファイルサイズ: 1,053 Kバイト