フォトダイオード一体型誘電体光メタ表面による色度選択光検出

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25am2-PS-111

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Chromaticity selective photodetectors by photodiodes integrated

著者名: 江間 大祐(東北大学),金森 義明(東北大学),羽根 一博(東北大学)

キーワード: フォトダイオード,メタマテリアル,カラーフィルタ

要約(日本語): 本研究では，アモルファスシリコン（a-Si）を母材とする誘電体光メタ表面で構成される構造色利用カラーフィルタをSiフォトダイオード上に一体化して製作し，PDの光検出信号の波長感度特性を制御する．更に，色変換マトリクスを用いてスペクトル成形し，三原色（RGB）成分を算出する．極薄・高画素密度の発光・受光デバイスや分光・色度センサへの応用が期待できる．

要約(英語): We fabricated spectral sensitivity controllable Si photodiodes that consist of amorphous silicon (a-Si) subwavelength periodic structures, producing structural colors, on Si photodiodes. In addition, signals of R, G, and B components can be detected by using the color conversion matrix.

PDFファイルサイズ: 866 Kバイト