SF6/C4F8ガスを用いたチタンの熱アシスト型反応性イオンエッチング

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25pm4-LN-204

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

著者名: 大川 太基(新潟大学),村田 祐貴(新潟大学),今井 純一(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

PDFファイルサイズ: 552 Kバイト