フェムト秒レーザ還元焼結を用いたNi合金微細パターン作製

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25pm4-PS-014

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Fabrication of Ni alloy micropatterns using femtosecond laser-induced reductive sintering

著者名: 田村 健紀(名古屋大学),溝尻 瑞枝(名古屋大学),櫻井 淳平(名古屋大学),秦 誠一(名古屋大学)

キーワード: レーザ直接描画法,還元焼結,フェムト秒レーザ,金属微細パターニング,再酸化

要約(日本語): 我々はNiO/Crナノ粒子のフェムト秒レーザ還元焼結法を用いてNi系合金の微細パターニング法について調査した．XRDスペクトルよりレーザ還元焼結によってNiOがNiに還元されたことが確認できた．Ni-Crの生成量はレーザ走査速度の増加に伴って増加した．

要約(英語): We investigated micropatterning properties of Ni-based alloy micropatterns which were fabricated using femtosecond laser reductive sintering of NiO/Cr nanoparticles. XRD intensity peaks corresponding to NiO were decreased and those corresponding to Ni were appeared by the laser reductive sintering. Generation of Ni-Cr alloy increased with increasing laser scanning speed.

PDFファイルサイズ: 1,020 Kバイト