SOI ダイヤフラム を用いた MEMS簡素化プロセスの評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25pm4-PS-016

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Evaluation of a Short Microelectromechanical Systems Process Using Silicon on Insulator Diaphragm

著者名: 伊東 隆喜(和歌山県工業技術センター),中家 利幸(阪和電子工業)

PDFファイルサイズ: 681 Kバイト