極薄フッ素樹脂エレクトレットの作製と特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25pm4-PS-032

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Preparation and characteristic evaluation of ultra-thin fluoric resin electret

著者名: 折笠 健(埼玉大学),蔭山 健介(埼玉大学)

キーワード: エレクトレット,PTFE,シリカ凝集体,極薄フィルム,スピンコーティング

要約(日本語): 極薄フッ素樹脂上にシリカ凝集体を形成したエレクトレットの電化保持特性を調べた。 極薄PTFE層はスピンコーティングによって、シリカ凝集体はコロイダルシリカの吹き付けによって形成した。 シリカ凝集体が室温と250℃の電化保持特性向上に有効なことが分かった。 さらにPTFE層において、PTFEとシリカ凝集体の複合層の形成により、シリカ凝集体は薄く広い形状を取り，250℃の加熱後に70MV/m以上の電界強度を示した。

要約(英語): Influence of formation of silica agglomerates on a ultra-thin fluororesin electret on charge-retention characteristics was investigated. The measurement of the charge retention of the obtained electrets after 24 h at RT and at 250 ℃ revealed that the formation of silica agglomerates on the ultra-thin PTFE layer enhanced the charge retention.

PDFファイルサイズ: 532 Kバイト