超音波トランスデューサを指向したPb(Zr,Ti)O3薄膜の多層積層成膜

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25pm4-PS-036

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Multi-layer Pb(Zr,Ti)O3 thin films for ultrasonic transducer

著者名: 中本 翔満(兵庫県立大学),佐野 良(兵庫県立大学),神田 健介(兵庫県立大学),藤田 孝之(兵庫県立大学),前中 一介(兵庫県立大学)

PDFファイルサイズ: 1,375 Kバイト