真空中での水晶振動子式小型熱重量分析センサの昇温特性評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25pm4-PS-042

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Evaluation of the heating characteristics of miniature QCR-based thermogravimetric sensor in vacuum

著者名: 和田 涼介(新潟大学),寒川 雅之(新潟大学),安部 隆(新潟大学)

キーワード: QCM,熱重量分析,小型化

要約(日本語): 本研究では，火星や小惑星における土壌の成分やちりに含まれる含水量の測定を目的とした昇温脱離式QCMおよび真空中での昇温特性を評価するためのチャンバーを作成し評価を行った。センサデザインの最適化を行った結果，消費電力0.81 W時に真空状態(2 Pa圧力下)で約300 ℃まで昇温可能なセンサを作成することに成功した。今後の宇宙材料評価において，充分な昇温特性を得ることができた。

要約(英語): In this paper, we optimized the heating electrode shape of the microheater-integrated QCM for measuring an ingredient of the soil and adsorbed water content in the dust on Mars. We evaluated heating properties of the QCM in vacuum environment. As a result, the temperature of the electrode reached 300 ℃. We found out the optimized QCM showed low consumption and had superior heating property.

PDFファイルサイズ: 972 Kバイト