近接・接触・滑りを検知できるMEMS多軸触覚センサを用いた小型電動マニピュレータ制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25pm4-PS-048

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Electromotive Manipulator Control by Detection of Proximity, Contact and Slipping Using MEMS Multi-axial Tactile Sensor

著者名: 荒木 凌馬(新潟大学),安部 隆(新潟大学),野間 春生(立命館大学),寒川 雅之(新潟大学)

キーワード: 触覚センサ,近接覚センサ,近接・接触・滑り検知,把持制御

要約(日本語): 本論文では、単一素子で近接、接触、滑りを複合検知できるMEMSセンサを設置した電動ハンドによる物体の器用な把持への有用性を実証した。このセンサはSi基板のインピーダンス変化により近接を、3回対称に配置されたカンチレバーの抵抗変化により垂直荷重及びせん断荷重を検知可能である。本センサを電動ハンドに設置することで、その出力フィードバックによる把持力の精密な制御が可能となった。

要約(英語): In this paper, we have demonstrated usefulness of the electromotive manipulator system with a developed MEMS sensor which can detect proximity, contact, and slipping to skillful gripping of the object. This sensor can detect proximity, normal and shear load by the photoconductive effect in Si substrate and strain gauge on cantilevers. By attaching the sensor on the electromotive manipulator, accurate control of gripping force was enabled by feedback of the sensor output.

PDFファイルサイズ: 3,100 Kバイト