水分センサ用ポーラス薄膜成膜条件のコンビナトリアル探索

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25pm4-PS-052

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Combinatorial searching for porous thin film forming condition for moisture sensor

著者名: 吉井 雄佑(名古屋大学),深川 雄貴(名古屋大学),溝尻 瑞枝(名古屋大学),櫻井 淳平(名古屋大学),秦 誠一(名古屋大学)

キーワード: 水分センサ,ポーラス金属薄膜,斜入射成膜,射影効果,ハイスループット評価

要約(日本語): スパッタガス圧2.5 Paおよび斜入射成膜によって，油中水分センサを製作し，油中評価の前段階として，大気中において，センサの特性を調査した．斜入射成膜条件である，成膜粒子の入射角度，TS距離，Crポーラス薄膜の膜厚をそれぞれ26°，165 mm，210 nmにした結果，センサのヒステリシスは，ハイスループット評価法において，最小値である2.9 %F.S.を示し，目標値を達成した．また今回構築したハイスループット評価法の有効性も確認できた

要約(英語): A moisture sensors which was fabricated by oblique incidence film formation at 2.5 Pa of argon, 26° for incidence angle, 165 mm for TS distance, and 210 nm for porous Cr thin film thickness showed successfully a lowest hysteresis of 2.9%F.S. in high-throughput evaluation. Furthermore, this high-throughput evaluation was successfully proved valid.

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