半導体式ガスセンサを用いた相補的センサアレイ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25pm4-PS-080

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Complementary Sensor Array Using Semiconductor-type Gas Sensors

著者名: 竹井 義法(金沢工業大学),田中 真司(金沢工業大学),平澤 一樹(金沢工業大学),南戸 秀仁(金沢工業大学)

キーワード: 半導体式ガスセンサ,相補的センサ,部分空間Prony法,過渡応答解析,特徴抽出

要約(日本語): 本研究では，異なる選択性を持つ複数個のガスセンサを用いて，そのリアルタイムな出力応答における擬似的なガス選択性の実現を検討した結果について報告する．感度向上と低減を図る被検ガスに対して，対照的な相対感度を持つ2種類の半導体式ガスセンサを相補的に用いて，その差分応答がターゲットガスに対して擬似的な選択性が得られることを示す．さらに，差分応答を構成する各ガスセンサ応答を部分空間Prony法を用いて検討した結果を報告する．

要約(英語): In this paper, we will show that gas selectivity can be improved by using two semiconductor type gas sensors. These two gas sensors are prepared as having opposite characteristics. The different characteristics can be used for improving a selectivity to the target gas complementary.

PDFファイルサイズ: 353 Kバイト