接触燃焼式MEMSガスセンサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25pm4-PS-082

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): MEMS gas sensors using catalytic combustion and thermistor

著者名: 中嶋 岳(東京電機大学),山口富治(東京電機大学),原 和裕(東京電機大学)

キーワード: 接触燃焼式ガスセンサ,MEMS,可燃性ガス,サーミスタ,Fe2O3 系薄膜

要約(日本語): 可燃性ガスを検知する新しい構造のMEMSガスセンサの開発を行った。また本センサは接触燃焼に基づいて可燃性ガスの検知を行っている。センサの構造としてPdまたはPtなどの触媒上で可燃性ガスが接触燃焼することで伴う温度上昇にFe2O3系薄膜による半導体サーミスタによって検知を行っている。また本センサは水素、エチレン、プロパン、エタン及びメタンに対するセンサ応答を確認できた。

要約(英語): Novel MEMS gas sensors for detection of combustible gases have been developed. The sensing principle is based on catalytic combustion. The temperature rise associated with oxidation of combustible gases on catalyst such as Pd or Pt is detected using an embedded semiconductor thermistor composed of Fe2O3-based thin film. The sensors are capable of detecting hydrogen, ethylene, propane, ethane and methane.

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