ナノインプリントリソグラフィを基盤技術とした貴金属ナノ周期構造の作製とセンサ応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25pm4-PS-094

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Fabrication of noble metal nano-periodic structure based on nanoimprint lithography and its sensor appicaliton

著者名: 遠藤 達郎(大阪府立大学),末吉 健志(大阪府立大学),久本 秀明(大阪府立大学)

PDFファイルサイズ: 769 Kバイト