MEMS静電アクチュエータを用いたナノ機械伸縮による可変プラズモニックカラーフィルタ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25pm4-PS-112

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): A tunable plasmonic color filter by nanomechanical stretch using MEMS electrostatic actuator

著者名: 満留 将人(豊橋技術科学大学),本間 浩章(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学)

キーワード: プラズモニックカラーフィルタ,MEMS,表面プラズモン,静電アクチュエータ,メタマテリアル

要約(日本語): 本論文では、可変プラズモニックカラーフィルタにおけるサブ波長格子の機械変位特性及び周波数応答特性を報告する。60Vの電圧印加によって、最大格子変位707nmを得ることができ、さらに520nmから640nmまでの表面プラズモン励起波長連続シフト特性との一致を確認することができた。また、1kHzまでの周波数応答を確認することができた。

要約(英語): This paper reports an evaluation of opto-electro-mechanical properties of the tunable plasmonic color filter by means of a nanomechanical in-plane motion of free-standing Al subwavelength grating. The maximum 707 nm pitch expansion was obtained at an applied voltage of 60 V. In addition to this, transmission peak red-shifted by applying DC voltage from 520 to 640 nm, which is good agreement with pitch expansion observed in SEM. The frequency response was achieved up to 10 kHz.

PDFファイルサイズ: 968 Kバイト