超微細プラズモニック構造実現のためのヘリウムイオン顕微鏡技術を用いたSiおよびAu表面への加工方法の検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 25pm4-PS-114

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Study of direct nano patterning on gold and silicon surfaces for nano plasmonic structures with helium ion microscope

著者名: 前田 悦男(東京大学),飯島 智彦(産業技術総合研究所),右田 真司(産業技術総合研究所),小川 真一(産業技術総合研究所),米谷 玲皇(東京大学)

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