スマートガスセンシングに向けたSU-8補強層を有するブリッジ型マイクロホットプレート

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26am1-A-3

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Bridge-type micro-hotplates with SU-8 supports for smart gas sensing system

著者名: 岩田 達哉(豊橋技術科学大学),Carine Soo Wei Ping(豊橋技術科学大学),松田 恭輔(豊橋技術科学大学),高橋 一浩(豊橋技術科学大学),澤田 和明(豊橋技術科学大学)

キーワード: マイクロホットプレート,ガスセンサ,スマートセンシング,SU-8

要約(日本語): 高集積スマートガスセンサにむけ，ブリッジ部にSU-8補強層を有するマイクロホットプレートを提案し，作製・評価を行った．提案の構造が十分な熱分離性能を有することをシミュレーションより確認した．作製した(140μm)2から(540μm)2範囲の面積の素子は600℃に到達しうること，また，(140μm)2なる面積の素子で，300℃，100分間の安定動作を確認した．以上より本提案デバイスの有望性を示した．

要約(英語): Toward highly integrated smart gas sensors, bridge-type micro-hotplates (MHP) with SU-8-supported bridges are proposed. The thermal isolation property was confirmed to be good by simulation. The temperature can reach 600°C in the MHP with the membrane area from (140μm)2 to (540μm)2. Furthermore, stable operation at 300°C for 100 minutes for the membrane area of (140μm)2 was confirmed.

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