平滑型フレキシブル壁面せん断応力センサの開発に関する研究

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26am1-B-1

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Fabrication of Smooth Surfaced Flexible Thermal Shear Stress Sensor

著者名: 沖原 千明(広島市立大学),長谷川 義大(広島市立大学),式田 光宏(広島市立大学)

キーワード: せん断応力,フレキシブル,薄膜フィルム

要約(日本語): 従来のせん断応力センサは，何れも脆性材であるSiが構造材として使用されており，流線型表面でのせん断応力計測には適用し難いという課題があった．そこで本研究では，上記課題を克服する新たな平滑型フレキシブル壁面せん断応力センサの開発を行い，その作製プロセスを確立した．また，作製したセンサを内径10 mmのチューブ内に実装し ，曲面上への実装が可能であること，そして20 msの高速応答が得られることを確認した．

要約(英語): We fabricated the smooth-surfaced flexible thermal shear stress sensor by applying a micro-machined PDMS structure and film transfer technology. The developed sensor was inserted into a tube with a diameter of 10 mm and was successfully fitted to the inside curved surface because of its flexibility. A response time value of 20 ms was obtained.

PDFファイルサイズ: 1,275 Kバイト