圧電MESMSダイアフラム型超音波センサの上部電極が振動モードに与える影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26am1-B-2

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Influence of top electrodes to vibration modes of piezoelectric MEMS diaphragms for ultrasonic microsensors

著者名: 西岡 知記(京都工芸繊維大学),西海 太貴(京都工芸繊維大学),山下 馨(京都工芸繊維大学),野田 実(京都工芸繊維大学)

キーワード: ダイアフラム,振動モード,圧電分極,超音波センサ

要約(日本語): 圧電ダイアフラム型超音波センサにおいて，パルス応答としての振動モードへ上部電極が与える影響を評価した。上部電極はセンシング用の内側電極と共振周波数制御用の外側電極に分割されている。上部電極を持たないダイアフラムでは複数の振動モードが混在するが，上部電極を持つダイアフラムでは単一の振動モードのみが誘起された。これにより，上部電極が自己整合的に振動を単一のモードに収束する効果を持つことが示唆された。

要約(英語): Influence of the top electrodes to vibration modes of diaphragms for ultrasonic microsensors responding to an ultrasonic pulse was evaluated. The diaphragm without top electrode showed plural major vibration modes. On the other hand, the diaphragms with top electrode showed a single mode concentrated in the electrode, even in the case with very thin electrode with 12.5 nm.

PDFファイルサイズ: 900 Kバイト