大面積電極の垂直実装による高感度MEMS静電気センサの実現

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26am1-B-3

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Realization of MEMS Static Electricity Sensor with High Sensitivity Using Vertical Mounting method of Large Electrode

著者名: 飯間 敦矢(香川大学),岡 勇作(香川大学),寺尾 京平(香川大学),下川 房男(香川大学),高尾 英邦(香川大学)

キーワード: 静電気,MEMSセンサ,組み立て技術,共振駆動

要約(日本語): 本稿では，垂直実装した大面積電極を有する高感度静電気センサの実証に成功した。提案する静電気センサは一般的な微細加工技術を用いて簡便な工程で製作することが可能である。静電アクチュエータ部に垂直電極を実装後，共振周波数での安定駆動を確認した。製作した高感度静電気センサの分解能は1.96Vを達成した。この結果は，従来のMEMS技術を用いた静電気センサに対して約100倍の性能向上である。

要約(英語): This paper reports a very high sensitivity static electricity sensor assembled with a vertically mounted large area electrode. Realized resolution of static electricity was 1.96V, and it is about 100 times higher performance than the previously reported MEMS static electricity sensor.

PDFファイルサイズ: 1,417 Kバイト