環境温度の影響が少ない高精度ひずみセンサの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26am1-B-4

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Development of a High-sensitivity strain sensor based on silicon MEMS resonators with a temperature compensation structure

著者名: 鮫島 健(横河電機),鈴木 良孝(横河電機),濱松 伸到(横河電機),横内 裕(横河電機),吉田 隆司(横河電機)

キーワード: MEMS,シリコン振動子,振動式ひずみセンサ,温度補償構造

要約(日本語): シリコン振動式ひずみゲージを直接鋼材に取り付けると，熱膨張係数差によって発生する熱応力が大きい為，高精度な計測が困難である。 本研究ではこの問題を解決し，温度の影響を受けずに微小なひずみの計測が可能なひずみゲージを実現することを目指し，温度補償構造を有するシリコン振動式ひずみセンサを開発した。

要約(英語): In case of detecting strain of metal with silicon sensor, however, so much thermal strain generates in the silicon sensor due to the difference of thermal expansion coefficients that it makes fine measurement in strain very difficult. To realize a high-precise strain sensor, we have developed the silicon resonant strain sensor with the thermal strain compensation structure.

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