2軸間感度差を改善したヨーとロール角速度センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26am1-B-5

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): A Yaw-and-Roll Gyroscope with Improved Sensitivity Difference between Two Axes

著者名: 明石 照久(豊田中央研究所),船橋 博文(豊田中央研究所),橋本 昭二(豊田中央研究所),大村 義輝(豊田中央研究所),藤吉 基弘(豊田中央研究所),大平 喜恵(豊田中央研究所)

キーワード: 2軸角速度センサ,離調率,周波数調整,他軸感度,ヨーとロール

要約(日本語): 我々は，一つのセンサエレメントで2軸間の感度差を改善できるヨーとロール角速度センサを試作した。実験の結果，電気バネ効果を用いた離調率調整電極はほぼ設計通りに動作し，元々低い他軸感度を悪化させることなく感度差を低減した。電気的な離調率調整は，センサエレメントの振動状態に影響を与えないことが判った。

要約(英語): We fabricated a yaw-and-roll gyroscope with one sensor element that can improve a sensitivity difference between two sensing axes. The experimental results showed that frequency-tuning electrodes for the electrical spring effect worked as designed and reduced the sensitivity difference without degrading originally low cross-axis sensitivity. The electrical tuning has no effect on the vibratory state of the sensor element.

PDFファイルサイズ: 2,248 Kバイト