細胞外電位計測用バッファアンプ搭載型3Dマイクロプローブアレイの製作と評価

カテゴリ: 部門大会

論文No: 26am1-C-6

グループ名: 第33回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2016/10/17

タイトル(英語): Fabrication and characterizations of integrated 3D microneedle-electrode array with buffer amplifiers for extracellular recordings

著者名: 久保 寛(豊橋技術科学大学),牧野 浩樹(豊橋技術科学大学),浅井 皓平(豊橋技術科学大学),田中 将徳(豊橋技術科学大学),Leong Xian Long Angela(豊橋技術科学大学),久保田 吉博(豊橋技術科学大学),山際翔太(豊橋技術科学大学),澤畑 博人(豊橋技術科学大学),秋田 一平(豊橋技術科学大学),石田 誠(豊橋技術科学大学),河野 剛士(豊橋技術科学大学)

キーワード: MEMS,センサー,神経細胞,細胞外計測

要約(日本語): 脳神経活動を記録できる刺入型の微小電極では、今後の安定した長期計測のため低侵襲性が求められる。しかし、更なる電極の微細化により、生体溶液－電極間インピーダンスの増加に起因する信号の減衰が確認されている。本研究では高インピーダンス特性を持つ微小電極においても高い信号対雑音（S/N）比で細胞外計測を実現する方法として、直径数?mであるVLSプローブ電極アレイ/(100)-Siにソースフォロワを集積化させたデバイスを提案する。

要約(英語): We report a heterogeneous integration of vertically aligned extracellular microscale silicon (Si)-needle electrode arrays/(111) with MOSFET amplifiers/(100). To improve the extracellular recording capability of the microelectrode with a high impedance of > 1 MΩ at 1 kHz, here we integrated (100)-Si source follower buffer amplifiers by ~700℃ VLS growth compatible (100)-Si MOSFET technology.

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