空隙を有する多層薄膜半導体水素ガスセンサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28am2-C-2

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Hydrogen Gas Sensors Using Stacked Thin Films with Interspace

著者名: 山田 達朗，山口 富治*，原 和裕(東京電機大学)

キーワード: 半導体ガスセンサ,水素,積層構造,貴金属触媒,WO3

要約(英語): A novel hydrogen gas sensor using stacked tungsten trioxide films with interspace has been proposed. A four-stacked hydrogen sensor has high sensitivity to hydrogen ranging from 10 ppm to 3000 ppm without using any noble metal catalysts and hardly responds to various combustible gases. The proposed sensor is promising for a continuous monitoring of hydrogen gas.

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