高感度で温度に不変なCr-N薄膜ひずみゲージの開発

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28pm1-A-1

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Development of high sensitive and temperature-independent Cr-N thin film strain gauges

著者名: 丹羽 英二*，白川 究，佐々木 祥弘，荒井 賢一(電磁材料研究所)

キーワード: Cr-N薄膜,ひずみゲージ,ゲージ率,抵抗温度計数,ジルコニア

要約(英語): In this study, a new gauge base material for a strain gauge suited for Cr-N thin films and a condition for obtaining the larger Gf were investigated. In consequence, high sensitive (Gf～14) and temperature-independent zirconia based Cr-N thin film strain gauges were successfully developed.

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