弾性表面波共振子を利用した超小型角速度センサ

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28pm1-A-3

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Micro gyro sensors employing a single surface acoustic wave resonator

著者名: 武舎 祐輔，原 基揚*，桑野 博喜(東北大学)

キーワード: 弾性表面波,共振子,角速度,センサ

要約(英語): Micro gyroscopes consisted of a surface acoustic (SAW) resonator was described. In our sensor, new mechanism to detect angular velocity was applied, and significant downsizing was expected in comparison with other SAW gyroscopes. The sensor was fabricated by making an interdigital transducer (IDT) on the LiNbO3 piezo-substrate and had no fragile structures like MEMS based gyroscopes. It can offer high shock durability and easy handling in wafer-level-process and packaging

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