圧電駆動型超音波トランスデューサのダイアフラム直径変更による受信感度および共振周波数への影響

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28pm1-A-4

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Effects of receiving sensitivity and rezonance frequency with changing diaphram diameter of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers

著者名: 鹿取 丈朗*，高島 大輔，赤井 大輔，石田 誠(豊橋技術科学大学)

キーワード: 圧電型マイクロシン超音波トランスデューサ,PZT,Al 2O3

要約(英語): In this study, to improve receiving sensitivity of piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (pMUTs), we researched effects of changing resonance frequency of pMUTs which were changed their diaphragm diameter. From this result, it was suggested that is receivable at the resonance frequency of various vibration modes and receiving sentitivity which change by changing the diaphragm diameter.

PDFファイルサイズ: 608 Kバイト