シリコンレゾナント圧力センサの高耐圧化
シリコンレゾナント圧力センサの高耐圧化
カテゴリ: 部門大会
論文No: 28pm1-B-2
グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集
発行日: 2015/10/21
タイトル(英語): Development of silicon resonant pressure sensor for high static pressure
著者名: 野田 隆一郎*,岩井 滋人,吉田 勇作,高山 忠彦,吉田 隆司(横河電機)
キーワード: MEMS,シリコン振動子,振動式圧力センサ,高耐圧,歪み
要約(英語): Silicon resonant sensors are playing an important role for industrial measurement. The silicon resonant sensors have some merits. However resonator buckling limits high pressure use, such as 200MPa. The resonator with high strain is required. In previous work, we developed Trench Diffusion Method which gives high strain to resonators. In this research, the resonators were assembled into pressure sensors and the sensor operated at 100MPa, which is above conventional limitation of 70MPa.
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