ベンチレーション構造によるMEMSマイクロホンの機械強度向上

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28pm1-B-3

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): The improvement of mechanical strength for MEMS microphone by applying ventilation structure

著者名: 村上 歩*，井上 匡志，笠井 隆(オムロン)

キーワード: 圧力センサ,マイクロホン,ベンチレーション構造,圧縮空気,機械強度

要約(英語): The mechanical strength is one of the most important characteristics for MEMS microphone. To improve the mechanical strength, a novel ventilation structure was applied to relief overload pressure exerted on diaphragm of MEMS microphone. The strength is improved three times higher by applying the structure, and it is succeeded to realize the device which has high robustness.

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