時間応答性の異なる検知部を集積したマイクロカンチレバー型 触覚センサの基礎検討

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28pm3-A-3

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Basic study of tactile sensor using microcantilever with multiple detection ability to static and dynamic external forces

著者名: 河野 壮*{1}，三原 雅人{1}，安部 隆{1}，奥山 雅則{1}，野間 春生{2}，寒川 雅之{1}({1}新潟大学，{2}立命館大学)

キーワード: 触覚センサ,BiFeO3,圧電体薄膜,カンチレバー

要約(英語): BiFeO3 lead-free piezoelectric thin films were deposited and characterized for the tactile sensor.Using the SrRuO3 buffer layer, crystalline structure, insulation property, ferroelectric property, and the transverse piezoelectric constant of BiFeO3 thin films were improved.In addition, by integration of piezoelectric film and strain gauge, it is demonstrated that the output with different time response can be obtained from a single cantilever structure.

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