Siナノ探針の先鋭化と近接デュアルAFMプローブの形成

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28pm3-B-3

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Si nano-tip sharping and fabrication of narrow-gapped dual AFM probe

著者名: 三品 和樹*，三浦 嘉隆，川島 健太，峯田 貴(山形大学)

キーワード: デュアルAFMプローブ,近接ナノ探針,探針先鋭化,低温熱酸化

要約(英語): This report presents fabrication and characterization of sharp Si nano dual tip. When corner angle of Si trench pattern was changed to acute angle, the dual tip was geometrically sharpened. In addition, radius of curvature of the dual tip was sharpened by low-temperature thermal oxidation though gap between the tips slightly widened about 290nm. Moreover, Si dual tip fabrication was demonstrated on a dual AFM cantilever with sputtered FePd film on SOI wafer.

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