マイクロ変位センサの接触圧センサへの応用

カテゴリ: 部門大会

論文No: 28pm3-D-4

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Application of micro-displacement sensor to contact pressure sensor

著者名: 林田 優馬*{1}，針崎 康太{1}，竹下 俊弘{1}，日暮 栄治{2}，澤田 廉士{1}({1}九州大学，{2}東京大学)

キーワード: マイクロ変位センサ,MEMS血流量センサ,接触圧力センサ,光MEMS

要約(英語): Blood flow is affected by the contact pressure. Thus, it is essential to measure both the contact pressure and the blodd flow at the same time. In this work, we propose a contact pressure sensor with a built-in integrated micro displacement sensor and the elastomeric resin. This pressure sensor can be embedded into MEMS blood flowmeter, because of the measurement principle with a laser diode and photodiodes. We can expect to adjust the measurement range by changing the types of resins and the thickness.

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