自己加熱式ステージを用いたチタンの熱反応性イオンエッチングとその最適化

カテゴリ: 部門大会

論文No: 29pm1-B-2

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Thermal reactive ion etching of titanium using self-heated stage and its optimization

著者名: 村田 祐貴*，南 佑人，寒川 雅之，安部 隆(新潟大学)

キーワード: チタニウム,難加工材,フッ素系ガス,深掘り反応性イオンエッチング

要約(英語): In this paper, we report a development of thermal reactive ion etching technique for etching titanium by optimizing the beam size to support the stage. A stage for 2 inches was designed by support of the simulation. The proposed technique makes a regular reactive ion etching system a more powerful etcher.

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