マイクロ流体操作のためのスパッタ酸化チタンを用いた光応答型濡れ性制御

カテゴリ: 部門大会

論文No: 29pm3-PS-001

グループ名: 第32回「センサ・マイクロマシンとその応用システム」シンポジウム論文集

発行日: 2015/10/21

タイトル(英語): Photoresponsive wettability control of sputter-deposited TiO2 thin films for liquid manipulation in microchannels

著者名: 前田 紘伸*，小林 大造，小西 聡(立命館大学)

キーワード: 酸化チタン,光誘起親水化,反応性スパッタ,ルチル型結晶構造,マイクロ流体チップ

要約(英語): This paper reports the photoresposive wettability control technology using sputter-deposited TiO2 for liquid manipulation. Photoresponsive wettability control can exhibit wetting transition from a hydrophobic state to hydrophilic state under ultraviolet irradiation. Capillary pumping effect generated by photo-induced wetting transition is theoretically and experimentally investigated. Optically-driven switching of flow direction is also demonstrated using a fluidic chip with a TiO2 pattern.

PDFファイルサイズ: 1,152 Kバイト